六合多級泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣（qì）、壓縮和排氣的，依靠的旋轉在獲取離心力，六合多級泵是的一種。六合多級泵按結構可以分為很多種，每種結構原理都不一樣。
一、餘擺線式
在六合多級泵腔內偏心裝有（yǒu）一個型線為餘擺（bǎi）線的轉子，它沿泵腔內（nèi）壁轉動並將泵腔分成兩（liǎng）個可變容（róng）積。泵的動平衡性好，所以運轉較平穩、振（zhèn）動亦小（xiǎo），轉速可以提高，可以（yǐ）做到尺寸（cùn）小、抽速大，適合發展為大抽速的機械六合多級泵。由於吸氣管路短而粗，有利於提高六合多級泵低壓（yā）力下的抽速。
二、定片式
定片式六合多級泵在內裝有一個與六合多級泵內表麵靠近的偏心轉子，上裝有一個始終與轉子表麵接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將六合多級泵（bèng）腔分成兩（liǎng）個可變容積。定片式六合多級泵抽速較小（xiǎo），有單級、雙級之分，泵的極限真空（kōng）可達10-1Pa。六合多級泵的結構（gòu）簡單、使用壽命較長和（hé）檢（jiǎn）修（xiū）容易，但由於其工作（zuò）性能不如旋片泵，所以目前已經很少生（shēng）產和應用。
三、旋片式（shì）
旋片式六（liù）合多級泵轉子（zǐ）以一定的偏心距裝在多（duō）級內並（bìng）與（yǔ）內表麵的固定麵靠近，在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉子旋轉（zhuǎn）時旋片能沿其徑向槽往複滑動且與內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉（zhuǎn），可將（jiāng）泵腔分成幾個可變容積。旋片式泵屬於低六合多級泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高或超高六合（hé）多級泵的前級泵。旋片六合多級泵多為中小型泵，產（chǎn）品已經係列（liè）化。旋片泵有（yǒu）單級（jí）和雙級兩種，一般多做成雙（shuāng）級的，以（yǐ）獲得較高的泵度。旋片六（liù）合多級泵絕大（dà）多數是（shì）單工（gōng）作腔結構，常用兩個徑向（xiàng）滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片六合多級泵也有應用。
四、滑閥式
滑閥式六（liù）合多級泵在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿內壁滑動和滾動（dòng），滑（huá）閥上部（bù）的滑閥杆能（néng）在可擺動的滑閥導軌（guǐ）中滑動，而把六合多級泵腔（qiāng）分成兩個可變容積（jī）。滑閥式（shì）六合多級泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥六合多級泵（bèng）。
五、多級噴射泵
常單級噴射器的由兩（liǎng）個或兩個以上的噴射器和（hé）冷凝器串聯組成，稱為多級噴射泵。冷凝器的作用是將混合物中的可凝性蒸汽部分凝結排除（chú），以減少（shǎo）下級噴射器的負荷。
冷凝器安裝在 級噴射器入口前，主要為了減少 級泵的負荷。隻有當被抽混合物中含有大量的可凝性蒸汽，並且其蒸汽分壓強大於（yú）冷卻水溫所對應（yīng）的飽和蒸汽壓時方可使用。中間冷凝器安裝在六合多（duō）級泵中間，具體位置應視進入冷凝器的混合物中的蒸（zhēng）汽分壓強（qiáng）及冷卻水溫而定，其作用是減少（shǎo）下級泵的負荷。後（hòu）冷（lěng）凝器（qì）安裝在末級噴射器之（zhī）後，主要是為了消除末級噴射器的廢氣、噪聲，有時（shí）用來（lái）回收未級噴射器的餘熱
